晶舟转移机
Crystal boat transfer machine
产品型号：LI17
产品说明：
4英寸晶圆舟转换器，用于高温扩散炉上晶圆的自动转移，将石英晶圆舟上的晶圆转移到一般承载舟上，或将晶圆从一般承载舟转移至石英晶圆舟上。
■ 当装有晶圆的石英舟放置在舟座上时，需对齐晶圆，并将晶圆定位座放置，以避免晶圆错位。
■ 在单动模式下，建议一次操作一个轴，以避免意外事故发生。
■ 外部尺寸与重量：宽：1600mm x 深：800mm x 高：1650mm
■ 重量：约90公斤
产品型号：LI17
产品说明：
4英寸晶圆舟转换器，用于高温扩散炉上晶圆的自动转移，将石英晶圆舟上的晶圆转移到一般承载舟上，或将晶圆从一般承载舟转移至石英晶圆舟上。
■ 当装有晶圆的石英舟放置在舟座上时，需对齐晶圆，并将晶圆定位座放置，以避免晶圆错位。
■ 在单动模式下，建议一次操作一个轴，以避免意外事故发生。
■ 外部尺寸与重量：宽：1600mm x 深：800mm x 高：1650mm
■ 重量：约90公斤
