电浆蚀刻机
Plasma Etcher
产品型号：CC3
产品说明：高密度电浆，快速蚀刻速度，均匀流设计确保蚀刻均匀性 <±3%
■ 晶圆温度可控，工艺灵活性强。每批8片4英寸晶圆，具有高生产效率。
■ 自动控制，稳定可靠，重复性好。
■ 外部尺寸与重量：长：4000mm x 深：1650mm x 高：2030mm
■ 重量：约250公斤
电浆蚀刻机
Plasma Etcher
产品型号：CC3
产品说明：高密度电浆，快速蚀刻速度，均匀流设计确保蚀刻均匀性 <±3%
■ 晶圆温度可控，工艺灵活性强。每批8片4英寸晶圆，具有高生产效率。
■ 自动控制，稳定可靠，重复性好。
■ 外部尺寸与重量：长：4000mm x 深：1650mm x 高：2030mm
■ 重量：约250公斤
