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全自动熔合机

Universal Machine Series-Fully Automatic Fusing Machine

产品型号:ADP65-300II

 

产品说明:

统一机型_全自动显影及定影机
适用于四轴3”~6”晶圆,主轴转速最高可达6000RPM,具备四个料篮(每篮100片)的进出料功能。

 

■ 吸盘轴具备防背喷功能:中央气液分离与收集沉降筒,封闭的工作区域可防止工作环境污染。

■ 操作流程:

选择要使用的配方
将材料放入进料区
按下启动按钮。

■ 生产能力:可编程设定打印头组执行分段操作,最大每小时产能可达190片。

■ 外部尺寸与重量:宽:1050mm x 长:1400mm x 高:2100mm

■ 重量:约500公斤