全自动四轴显影及定影机

产品型号：DV07

产品说明：

统一机型_全自动显影及定影机
适用于四轴3”~6”晶圆，主轴转速最高可达6000RPM，具备四个料篮（每篮100片）的进出料功能。

■ 吸盘轴具备防背喷功能：中央气液分离与收集沉降筒，封闭的工作区域可防止工作环境污染。

■ 操作流程：

选择要使用的配方
将材料放入进料区
按下启动按钮。

■ 生产能力：可编程设定打印头组执行分段操作，最大每小时产能可达190片。

■ 外部尺寸与重量：宽：1050mm x 长：1400mm x 高：2100mm

■ 重量：约500公斤