型号：自动高产量光罩对准曝光机 （Auto Exposurer3"、4"、5"、6" 300-CC 本设备为使用于半导体微影制程之光罩对准曝光机）
尺寸：W：1900 * L：1600 * H：2400 mm
重量：约重1900kg
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